装置構成

ナノ観察装置

電界放出形透過電子顕微鏡(TEM)
電界放出形透過電子顕微鏡(TEM)
薄い試料を透過した電子を蛍光面に衝突させて、試料の拡大像を観察する装置です。ナノ薄膜の観察、ナノメートルでの分子や結晶の観察ならびに、細胞や生体物質の観察が可能です。バイオテクノロジー、半導体、化学など様々な分野で最先端の研究開発に活用できます。
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電界放出形透過電子顕微鏡(TEM)の特長
熱電界放出形電子銃を搭載し、高分解能像観察およびナノ領域の分析に最高の性能を発揮
加速電圧300kVのC-FEGにインカラム方式のエネルギーフィルターを利用し、TEMモード、回折モードから簡単にフィルタ像を獲得、スペクトルも安定
エネルギー分散形X線分析装置を装着しているため、微小領域の元素分析を非破壊で可能
電界放出形透過電子顕微鏡(TEM)の主な仕様
粒子像分解能(UHR構成)0.17nm
エネルギー分解能
0.9eV(ゼロロス半値幅)
加速電圧最大300kV
電子銃Zr0/W <100> ショットキー方式
倍率×100〜×1 500 000
設置場所: バイオナノテクセンター(片柳研究所棟 地下1階分室1)
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