片柳研究所 バイオナノテクセンター
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三次元精密加工装置(ロボドリル)
マスクアライナー〈ミカサ製〉
スピンコーター〈ミカサ製〉
電子顕微鏡用蒸着装置〈日本電子製〉
アルゴンイオン試料作製装置〈日本電子製〉
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