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試料表面に電子線を照射し、試料から発生してくる２次電子を捕捉しディスプレイを介して観察する装置です。走査電子顕微鏡では、焦点深度が深いので試料表面を立体的に観察できます。
生体材料からポリマーまで様々な試料表面の微細領域の凹凸観察や、元素の分析が可能です。
バイオナノテクノロジー，半導体，化学など様々な分野で最先端の研究開発に活用できます。 | | |
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 | 収差補正器の組み込み、耐震性に優れたステージの採用により、低加速電圧でサブナノメートルが観察できる超高分解能を実現 |
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| エネルギー分散形Ｘ線分析装置を装着しているため、微小領域の元素分析を非破壊で可能 |
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| 冷陰極電界放出形電子銃を搭載 |
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| 二次電子像分解能 | 0.6nm（5kV）、1.0nm（1kV） | | 倍率 | ×25〜×2
000 000 | | 加速電圧 | 0.5kV〜30kV |
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| 設置場所： バイオナノテクセンター（片柳研究所棟 地下1階分室1） |
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