装置構成

バイオナノテク関連装置

触針式表面形状測定装置(表面粗さ計)(Dektak8)
触針式表面形状測定装置(表面粗さ計)(Dektak8)
コンパクトなベンチトップデザインを採用した8インチウェーハ対応の触針式表面形状測定器です。ユニークなオーバーヘッド式のプログラマブルX,Yステージにより、測定位置をプログラムすれば最高200ポイントまで自動測定が可能です。
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触針式表面形状測定装置(表面粗さ計)(Dektak8)の特長
直径200mm面内の任意ポイント(最高200点)を自動測定
オーバーヘッド式X,Y ドライブとベンチトップデザインの採用でコンパクト化を実現
サンプル観察用に低倍率と高倍率の2 つのカメラを標準装備
直径200mm以下の基板上に形成された膜圧段差、表面形状、あらさ、うねりの測定
触針式表面形状測定装置(表面粗さ計)(Dektak8)の主な仕様
弁解能/測垂直定レンジ1Å/65kÅ、10Å/655kÅ、40Å/2620Å
測定長さ50μm〜50mm(オプション:100mm)
最大サンプリングデータ数30,000 点
触針圧1〜15mg(オプション:0.03mg)
サンプルステージサイズ直径210mm ステージ移動:X200mm、Y200mm(以上電動プログラマブル)、シータ360°
自動多点測定数:最高200点
サンプル観察トップビュー(低倍率カラー)10mm、サイドビュー(高倍率カラー)1mm
設置場所: バイオナノテクノロジーセンター(片柳研究所棟6階)
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