装置構成

バイオナノテク関連装置

レーザーエリプソメーター(ESM-1AT)
レーザーエリプソメーター(ESM-1AT)
エリプソメトリ(偏光解析)の原理を利用し、薄膜の膜厚と屈折率を高速でかつ高精度に測定することができる自動エリプソメータです。タッチパネル式の専用コントローラを採用していますので、簡単な操作で測定することができます。
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レーザーエリプソメーター(ESM-1AT)の特長
薄膜の膜厚、屈折率を優れた再現性で測定
膜厚と同時に屈折率の測定
タッチパネル式の専用コントローラで、簡単な操作で測定
分布表示、多層膜解析、プサイ=デルタ線図などのオプションソフトも充実
半導体酸化膜、窒化膜、レジスト、ITOなどの膜厚、屈折率の測定
レーザーエリプソメーター(ESM-1AT)の主な仕様
測定方式偏光子調整型回転検光子変更解析
光源He-Ne レーザー 波長:632.8nm 出力:0.8mW
入射角55°、60°、65°、70°、75°
再現性〔1σ〕膜厚0.1nm 屈折率0.001〔Si 基板上のSIO2(約100nm)を10 回繰り返し測定した場合の標準偏差〕
ステージサイズ直径170mm ステージ移動:R 125mm 自動、シータ 360°
設置場所: バイオナノテクノロジーセンター(片柳研究所棟6階)
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