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| Ｘ線を材料表面に照射することにより、材料の最表面（深さ1〜10ナノメートル）の化学結合状態についての情報を得ることができる装置です。薄層における化学結合状態の観察ができます。 |
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 | 高空間分解能XPS分析（30μm）から広域XPSイメージ（50mm×18ｍｍ）まで |
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| 磁界・電界インプットレンズによる高感度測定 |
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| 高精度の波形分離ソフトウエアによる、容易な化学状態分析 |
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| 全反射XPSによる高感度な表面極微量元素の測定 |
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| 静電半球形アナライザ | 中心軌道半径100mm |
| エネルギー掃引 | 0〜1,500eV |
| CAE法 | パスエネルギー
5〜200eV | | CRR法 | ?E／E0.15〜0.5% |
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| 設置場所： バイオナノテクセンター（片柳研究所棟 地下1階分室1） |
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